中核人材育成講座　第８講座
講座名：空気圧機器と空気圧システム
期日：７月１１日　13:00-16:00
講師：ＳＭＣ㈱

半導体製造装置の機構部品として根幹となる空気圧機器と空気圧システムに関して、特にクリーンルーム仕様の機器、システムに関して、豊富な事例をもとに詳細に、かつ判りやすく説明します。
クリーンルームの特徴、性能などの概要を説明し、その中で、使い方を間違えると発塵源ともなる空気圧機器をいかに使いこなすか、アクチュエータ、継ぎ手、電磁弁などの部品をいかに組み込むか、そしていかにして全体のシステムを構成するかなど、実際に現場に設置されている装置の中に組み込まれているクリーン機器を例に取り、装置の基盤技術として空気圧機器と空気圧システム技術を詳しく解説いたします。空気圧機器とその原理についての現場に即した実務知識が得られます。